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2025年度激光大讲堂第四讲:金刚石薄膜的制备及光电性能研究
信息来源:浙江工业大学激光先进制造研究院       日  期:2025-03-21

报告人:胡晓君

报告时间:2025324日上午10:30

报告地点:屏峰校区机械楼A311

报告题目:金刚石薄膜的制备及光电性能研究

报告摘要:

面向国家在宽禁带半导体材料的重大需求,开展金刚石的制备新方法、n型掺杂、光电性能、器件研制及应用等研究,本报告的主要内容有:(1)化学气相沉积金刚石的形成机制研究。发现化学气相沉积过程中金刚石的形成是由石墨相变而来,颠覆了碳原子形成金刚石结构的传统观念;发现石墨低压转变为金刚石的机理,颠覆了石墨高温高压转变为金刚石的传统观念,发展出基于石墨低压/常压制备金刚石的新方法。(2)纳米金刚石薄膜的n型掺杂新方法研究。创制了适用于纳米金刚石薄膜的低剂量离子注入工艺、低真空热氧化退火工艺;提出n型密堆积纳米金刚石薄膜新结构,迁移率较文献结果提高400多倍,为宽禁带半导体掺杂及器件研制提供新范式。(3)色心金刚石的制备及性能研究。首次人工制备出少于3个色心的超小尺寸纳米金刚石,其室温发光性能至今保持世界第一,在单光子源、量子探针等方面有重要应用;发展出提升色心发光强度的普适性方法,采用热氧化法在金刚石颗粒表面制造纳米结构,将SiV发光强度提高4-27倍,线宽压窄至3 nm

报告人简介:

胡晓君教授主要从事超宽禁带半导体材料领域研究,包括金刚石的制备新方法、n型掺杂、光电性能及器件,金刚石电化学电极及应用和不锈钢表面金刚石薄膜制备等。主持国家自然科学基金联合重点项目、国家国际科技合作项目、国家重点研发计划项目(第二单位负责人)和千万级横向项目等科研项目15项,研究成果以第一/通讯作者在PNASAdv. Sci.CarbonAPL等国际高水平期刊发表论文100余篇,授权发明专利44件,其中国际专利1件。入选浙江省高校领军人才培养计划创新领军人才、浙江省中青年学科带头人、浙江省151人才。担任《Functional diamond》主编助理,担任《超硬材料与工程》和《金刚石与磨料模具工程》编委,中国机床工具工业协会超硬材料分会六届专家委员会委员,浙江省材料研究学会理事。


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